“微波ECRCVD设备”，陕西省科技进步二等奖

“ECR刻蚀及SiC高温半导体器件技术”，陕西省科技进步二等奖，西安市科技进步一等奖奖

“碳化硅油井高温压力传感器”，陕西省科技进步三等奖

“微机械加工硅压阻式压力传感器的研制”，陕西省科技进步三等奖

“用于高速集成电路硅薄层外延技术的研究”，机械电子工业部科技进步三等奖